图3. 地面回风应直接放置在主要设备附近。照片由Facility Planning & Resources股份有限公司提供。
注意,对于ISO 7洁净室,表中的两个变量是空气流速和每小时的换气次数。需要考虑的其他因素是室内空气流模型的均匀性和洁净室本身的构造。因此,虽然ISO 7的高效微粒空气过滤器覆盖率推荐值是20%,但要提供令人满意的ISO 7清洁度,过滤器覆盖率是可以变化的。重要的是要记住提供的数值是推荐值,并非严格的规定。我们成功地建造过具有各种百分比过滤面积的ISO 7洁净室。
应注意空气流模型的设计依赖于过滤器在天花板中的仔细安排以及空气回风在洁净室地面上的仔细安排。重要的是洁净室设计者应完全明白在洁净室内的工艺过程,保证以的成本实现*佳的设计。
温度
在洁净室内要保持的温度取决于舒适程度或工艺的要求。在ISO 7洁净室内的舒适度一般可将温度保持在72oF(±2o)来实现,这时穿实验室外套或者工作服、鞋套、发帽(hair bouffants)即可。在更严格的ISO 7洁净室中,需要整套“连身(bunny)”服。在这些情况下,将温度保持在68oF(±2o),就可以使人感到舒适。前边,我们提到关于IS0 7洁净室通过连续保持低的微粒数取得成功的一些经验。其中在一些洁净室中,工作人员就是要穿整套连身服的。
在规定温度值和容差时应当小心,因为是工艺感受性需要的结果。保持高或者低的温度值都需要昂贵的花费。保持严格的但不必要的容差,花费更大。±1oF容差要比±2oF容差花费大得多。±0.5oF的容差的花费呈指数增加。如果室外空气条件波动巨大,工艺设备还在发热,一天24小时,一年四季要在整个洁净室内保持高的容差,花费更大的情况就会更明显。 这样会产生高的原始成本、高的运营成本和很多“不合格”周期。
一些洁净室管理者常见的错误观念是温度始终可通过改变空气流来控制,这不总是准确的。当空气流量增加时,在空间内的负载的影响在减少。但是,送风温度变化的影响增加了。
湿度
许多关于温度控制的评论也适用于湿度控制。选择的值和容差对应用应是现实的。如果将温度保持在舒适的水平,在百分之三十到六十五相对湿度范围内也可实现舒适水平。需要严格容差的原因是工艺需要。多数区域内,如果需要正负百分之五的相对湿度容差,机械系统中必须采用加湿和去湿设备。如果需要正负百分之二相对湿度容差,应特别注意控制系统以及增加和减少空气中的水分。
压力控制
受控洁净空间和非受控空间之间的压差是洁净室管理中另一项重要因素。一般,控制*严格的空间的压力是的。保持洁净空间的空气压力比相邻的控制严格程度较低的空间高0.02英寸水柱(in.w.c.)或比相邻的非额定空间高0.05in.w.c。更高的压差也行;但是,如果压差太高,就会产生噪音问题,难于将门打开或保持门的关闭。同时也会使运营成本升高。
图4. 洁净室在建造的*后的阶段期间应每天清洗。照片由Facility Planning & Resources股份有限公司提供。
使用风机过滤机组
我们注意到几年来,企业大多数采用在现有建筑里构建ISO 7洁净室。这对于工业或者生产设施来说,通常带来问题少。但在学校的研究洁净室方面却有很多限制。许多情况下,从地板到下层地板结构的可用空间大于或约13英尺,甚至净高大于15英尺。新风管和空气循环装置要求的空间比可用的空间更大。这样大的空间需要使用风机过滤机组代替空气再循环装置、风管或送风静压箱。
但是,使用风机过滤机组来代替过滤的再循环空气并不总是因为高度限制。根据一般的经验,低于20台过滤器时,风机驱动的高效微粒空气过滤器(FFU)设计的成本要低于传统风管系统。利用一定的送风静压箱和风机驱动模组允许使用标准的现成空调设备和常规的风管系统,无需采用密封进行压力控制,从而降低了制造和安装成本。
照明
由于在洁净室内要进行精细的工作,现在趋势是采用高照明度(即100烛光,即1000勒克斯),结果带来高能量输入,需要高能量来冷却负载。如对精细工作采用工作岗位照明,一般只需要70到80基本烛光,从而降低了冷负荷,通过降低照明器具的数量也降低了成本。我们发现在ISO 7洁净室中,天花板系统采用T-5灯向吊顶龙骨系统中照明,可提供足够大的均匀的照明和高技术图像,支持洁净室业主的市场部分。