振动 按3.6进行测试,操作台三个轴向(x.y.Z)振幅均不得超过5μm。如有特殊要求,用户与厂家另行商订。 应是具有2~500Hz的振动频率,位移为。0.1μm~0.5mm,加速度为0.01g~10g的振动分析计。 仪器校准应按照说明书的要求进行。 3.6.2测试方法 3.6-2.1当洁净工作台在正常运行条件下,将振动分析计的拾振器置于操作面的儿何中心处。测出想、X,Y,Z一个轴向的总振幅值。 3.6-2.2被测试的洁净工作台应放置在振动比较小的地面上进行。在测试过程中应避免周围环境的影响。 3.6-2.3三个轴向的振幅值均应不得超过5μm 原创作者:苏州长留净化科技有限公司 |