洁净度操作区洁净度 其洁净度)0.5um粒子必须≤53. 5粒/L,不准许有)≥ 0.5μm粒子。 二、测试方法 1、进行洁净度测试时,吸风口处的气溶胶浓度(对于≥ 0.5μm粒子)不得小于35 000粒/L。 当吸风口处不能满足上述指标时,宜在洁净工作台吸风口处发多分散DOP气溶胶。 2、当吸风口处的气溶胶浓度达到稳定条件下,在距主过滤器或整流格栅出口250 mm的平行断面的中心处(垂直层流洁净工作台距操作台面250 mm的中心处)连续测试5次,求其平均值。 3、操作区气溶胶浓度测试尽量采用大流量( 47.2×10-5m3/s [28. 3 L/min])尘埃 粒子计数器,也可采用小流量 尘埃粒子计数器,但采样量不得小于1L。 4洁净工作台吸风口处的气溶胶浓度测试,需要在测试洁净工作台操作区气溶胶浓度的时间内进行,要测5次以上。 5、当测试时有≥ 0.5μm粒子出现时,应进行多次采样,当其多次出现时,才认为该测试数值是可靠的。 三、可比工作环境条件下的操作区气溶胶浓度计算: C=(C2/C1)*Cn-------------------------------------(1) 式中: C—操作区对比气溶胶浓度(≥ 0.5μm),(粒/L) C1—洁净工作台吸风口处≥ 0.5μm的气溶胶浓度平均值,粒/L; C2—洁净工作台操作区要≥ 0.5μm的气溶胶浓度平均值,粒/L; Cn—可比工作环境中的)≥ 0.5μm的气溶胶浓度,取值为35000粒/L, 四、使用条件下操作区的洁净度 洁净工作台在使用条件下,不论其使用环境中的含尘浓度是多少,要按有关规定进行测试,并按操作区气溶胶的实测浓度来评价操作区的洁净度。 原创作者:苏州长留净化科技有限公司 |